内江洛伯尔材料科技有限公司
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感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置

2017-03-20 16:47来源:内江洛伯尔材料科技有限公司作者:研发部
文章附图

     感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置

  本实用新型公开了一种感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置,属于激光晶体结晶工艺学领域;包括底部的陶瓷托盘和垫板,陶瓷托盘上设有陶瓷保温筒,陶瓷保温筒外侧设有感应线圈,陶瓷保温筒内侧设有ZrO<sub>2</sub>保温砖,垫板上面设有铱坩埚,且铱坩埚位于ZrO<sub>2</sub>保温砖的内侧,铱坩埚内装有熔体,陶瓷保温筒和ZrO<sub>2</sub>保温砖上端设有带有观察口的上保温筒和陶瓷观察挡板,且陶瓷观察挡板位于上保温筒观察口的外侧,铱坩埚上方设有籽晶杆,籽晶杆下端装有籽晶,籽晶下端位于熔体的上方,且籽晶杆、籽晶均位于上保温筒的内侧;本实用新型具有结构简单、温场稳定、装调方便、铱坩埚挥发轻、铱坩埚表面不受污染、使用寿命长等优点,并且相对投入小、功率低、生长成本低。

目前感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置,一是在侧保温系统上,几

乎都采用在铱坩埚周围使用Zr02砂,这种结构铱坩埚挥发严重、并且铱坩埚外表面污染也很严重,降低了铱坩埚的使用寿命;二是在铱坩埚的上面采用铱环,无形增加了晶体的生长成本;三是装调很不方便实用新型内容

本实用新型的目的在于:提供一种感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置,它很好地解决了目前感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置中存在的铱坩埚挥发严重、表面污染严重,铱坩埚使用寿命短,成本高,装调不方便等弊病。

本实用新型的技术方案是:一种感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置,包括底部的陶瓷托盘和垫板,陶瓷托盘上设有陶瓷保温筒,陶瓷保温筒外侧设有感应线圈,陶瓷保温筒内侧设有Zr02保温砖,垫板上面设有铱坩埚,且铱坩埚位于Zr02保温砖的内侧,铱坩埚内装有熔体,陶瓷保温筒和Zr02保温砖上端设有带有观察口的上保温筒和陶瓷观察挡板,且陶瓷观察挡板位于上保温筒观察口的外侧,铱坩埚上方设有籽晶杆,籽晶杆下端装有籽晶,籽晶下端位于熔体的上方,且籽晶杆、籽晶均位于上保温筒的内侧。

本实用新型在使用时,下降籽晶与铱坩埚内的熔体接触,通过向上提拉、旋转籽晶,调整加热功率,就可不断生长出晶体。

本实用新型的有益效果是:结构简单、温场稳定、装调方便、铱坩埚挥发轻、铱坩埚表面不受污染、使用寿命长等优点,并且相对投入小、功率低、生长成本低。

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